1、管道材料屬性
在輸送高氣管道方面，影響氣體質量的管材材料的主要特點是氣體滲透性、火器率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、耐蝕性。
2、氣體滲透性
氣體通過物料從高壓(或分壓)側流向低壓(或分壓)側的現象，成為氣體滲透。由于空氣中氧氣和氮氣的分壓大，氣體分子相對較小，所以管道材料的氣體滲透率主要表現為氧氣和氮氣的滲透率，一般氧氣滲透率測試很多。對于輸送純度在ppm級以上的氣體，從氣體滲透的角度考慮，應使用不銹鋼管或鋼管。如果我們不當選擇不合格的管道材料，無論我們采取什么凈化措施，都無濟于事。
3、出氣速率
材料冶煉過程中形成的管材晶間或晶格內部有高純氣體運輸過程中緩慢釋放并污染高純氣體的雜質。特別是雜質需要ppb以上的高純氣體。通常低碳不銹鋼管道的花期很低。
4、吸附性
水分等雜質是性分子，所以吸附性很強。橡膠、塑料或某些表面粗糙的材料容易吸附水分等雜質，銅對水的吸附性很強，使用這些物質輸送高純氣體容易污染。除了輸送ppm級以下的氧氣外，使用銅管外，高純氣體不使用銅管和塑料管。
