山西瓶裝氣體將混合氣體看成一種純物質時,常使用折合摩爾質量Μ和折合氣體常數R混合氣體的密度等于各組成氣體在混合氣體的總壓力和溫度下之密度與其容積成分的乘積之和。
山西永固氣體公司常見的混合氣體
干燥空氣:21%氧氣和79%氮氣的混合氣體
二氧化碳混合氣體:2.5%二氧化碳+27.5%氮氣+70%氦氣
準分子激光混合氣體:0.103%氟氣+氬氣+氖氣+氦氣混合氣體
焊接混合氣體:70%氦氣+30%氬氣混合氣體
節能燈泡填充混合氣體:氪氣+氬氣混合氣體
分娩鎮痛混合氣體:笑氣+氧氣混合氣體
血液分析混合氣體:5%二氧化碳+20%氧氣+75%氮氣混合氣體
焊接混合氣(二元混合氣,三元混合氣體或多元混合氣體)
山西氣體廠家所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到設備用點,為了達到工藝對氣體的質量要求,在氣體出口指標一定的情況下,則更需重視配管系統的材料選用和施工質量。除取決于制氣或凈化設備的精度外,在很大程度上受到管路系統諸多因素的影響,因此,管材的選取應恪守相關行業原則,并在圖紙中注明管道材質。
山西永固氣體公司管路的材質則依使用的需求進行選擇,若為制程用的反應氣體則選擇高等級的316L EP管,經電解拋光處理,耐腐蝕,表面粗糙度低,Rmax約為0.3μm以下,其值遠低于經過光輝燒結處理之316L BA管的0.8μm,因平整度越高越不容易形成微渦流,而將污染粒子帶出。316L BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應的氣體,如GN2、CDA。更多氣體知識請關注氣體圈子微信:gasgroup管內表面粗糙度是衡量管材質量的標準。粗糙度越低,其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經特殊處理的AP管,則用于不做為供氣管路的雙套外管。